超纯水是在纯水的基础上经过光氧化技术、精处理和抛光处理等一系列复杂的纯化技术制得的。这样的水是一般工艺很难达到的程度。
　　超纯水系统主要包括预处理系统、RO系统、EDI系统、抛光处理系统以及远程控制系统、监控系统、水量计量系统和其他辅助系统。采用中央监控系统控制纯水系统的运行操作，控制模式采用PLC+上位机，采用CPU和服务器无缝冗余。不使用国家明令禁止的产品，对化学品的使用应有泄露应急措施。各级设备应具有余量、备用，系统自动运行，同时也可以切换为手动。采用节约用能设计。超纯水泵、EDI增压泵、RO高压泵、UF反洗泵、RO供给水泵采用变频器控制。原水直接来源于业主自行建设的水箱，不再单独建设原水箱。
包括原水箱、原水泵、杀菌剂、石英砂过滤器、活性炭过滤器、换热器、阻垢剂系统。作为反渗透的前处理，主要目的是去除原水中的悬浮物、胶体、色度、浊度、有机物、硬度等妨碍后续反渗透运行的杂质。